特征一：实现了比以往小，1/100的超小型化体积

测头内部仅搭载镜头，因此实现了比以往小，1/100的超小型化尺寸。满足生产装置本身也要小型化的需求，能简单安装在狭窄之处，无空间上的限制。

 

特征二：最小5mm间距，可并列安装

传统激光传感器你受探头尺寸的限制，测量时需要在 XY 平台等移动装置上移动目标物，因此增加了装置成本。PROBE系列的超小型测头，即便是狭小空间也可并排安装，可降低装置成本。

 

特征三：轻便，可简单地安装在机器人上

重量约是传统激光位移计的 1/2。轻便，可减轻停止时的残余振动，从而简单地安装在机器人的前端。

 

特征四：垂直和侧面的出光方式，适合各种应用

光笔测头分为垂直和侧面两种不同的出光方式，更适合在狭缝或者腔体内部进行轮廓度、厚度等高度位移值的测量。

 

特征五：多种外形尺寸，更适合不同场景应用

超小光笔外形，直径有φ4mm、φ6mm、φ8mm、φ10mm、φ15mm多种尺寸供用户选择。适合各种狭缝、腔体、管径的内径测量、轮廓度测量、圆度测量、粗糙度测量等应用。

 

特征六：微型外观更适合用于狭小空间对测

狭小空间安装微型尺寸光笔，采用双光笔对测的模式，实现在线测量非透明样品厚度，在晶圆、涂布、玻璃等精密加工行业应用非常广泛。